1200℃三溫區(qū)旋轉(zhuǎn)自動(dòng)進(jìn)出料CVD系統(tǒng)安裝有投料器和收料罐。1200℃三溫區(qū)旋轉(zhuǎn)自動(dòng)進(jìn)出料CVD系統(tǒng)投料器可以以額定速率將粉料送入爐管，可實(shí)現(xiàn)在氣氛保護(hù)的環(huán)境下連續(xù)對(duì)粉末材料用CVD方法進(jìn)行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)處理好的料粉進(jìn)行收集。

       1200℃三溫區(qū)旋轉(zhuǎn)自動(dòng)進(jìn)出料CVD系統(tǒng)廣泛用于燒結(jié)無機(jī)化合物，通過機(jī)械傳動(dòng)控制工作管能360°不間斷旋轉(zhuǎn)，使得管內(nèi)物料攪拌混合獲得均勻受熱效果。

此款管式爐設(shè)計(jì)主要是在鋰離子電池的陰極材料（如LiFePO3, LiMnNiO3）上包覆導(dǎo)電層，同時(shí)也可用CVD方式制備 Si/C 陽(yáng)極材料。

1200℃三溫區(qū)旋轉(zhuǎn)自動(dòng)進(jìn)出料CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：

真 空 管 式 爐	Max功率	4.5kw
	爐管材質(zhì)	外管不銹鋼，內(nèi)管石英
	爐管直徑	兩端60mm，中間100mm
	爐管長(zhǎng)度	1640mm
	爐膛長(zhǎng)度	1060mm
	加熱區(qū)長(zhǎng)	200mm+200mm+200mm
	恒溫區(qū)長(zhǎng)	200mm
	工作溫度	0～1100℃
	控溫精度	±1℃
	控溫模式	30段或50段程序控溫
	顯示模式	LCD
	密封方式	304不銹鋼真空法蘭
	法蘭接口	1/4英寸卡套接頭，KF16/25/40接頭
	可抽真空	4.4E-3Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
	傾斜角度	0~15°
	轉(zhuǎn)速	0~20轉(zhuǎn)
供 氣 系 統(tǒng)	產(chǎn)品型號(hào)	CY-3F
	氣體通道	3通道
	測(cè)量部件	氣體浮子流量計(jì)
	測(cè)量量程	A通道：0～100ml/min    H2氣	備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時(shí)需要特別注明?？筛鶕?jù)客戶的具體要求來選配對(duì)應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。
		B通道：16～160ml/min    N2氣
		C通道：25～250ml/min    Ar氣
	測(cè)量精度	±2.0%
	管道耐壓	3MPa
	工作壓差	50～300KPa
	連接管道	304不銹鋼
	控制閥門	304不銹鋼針閥
	接口規(guī)格	進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
排 氣 系 統(tǒng)	機(jī)械泵	旋片泵
	抽氣速率	1.1L/S
	排氣接口	KF16
	真空測(cè)量	電阻規(guī)
	極限真空	1.0E-1Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
	抽氣接口	KF16

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