RTP快速退火爐是我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。RTP快速退火爐采用進(jìn)口紅外加熱管加熱，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體和爐管可以自由滑動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸120mm，可以直接放下4英寸的材料，試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi)，在完成生產(chǎn)工藝的同時(shí)也大大降低了間接污染試樣的可能性。設(shè)備配備LCD高清觸摸屏，設(shè)定數(shù)據(jù)實(shí)驗(yàn)操作均為圖文界面，操作方便快捷易上手，能夠大大提高您的實(shí)驗(yàn)效率。設(shè)備預(yù)留了真空和氣路的快速接口，可以選購(gòu)我們的真空系統(tǒng)和混氣系統(tǒng)一起使用。

RTP快速退火爐應(yīng)用領(lǐng)域：

  快速退火爐設(shè)備，可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化、擴(kuò)散、化合物半導(dǎo)體退火、離子注入后退火、電極合金化、晶化和致密化、合金熔點(diǎn)分析、薄膜沉積等。

RTP快速退火爐技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品型號(hào)	CY-RTP1000-Φ150-400-T
爐管材質(zhì)	高純石英
爐管直徑	120mm
爐管長(zhǎng)度	500mm
爐膛長(zhǎng)度	440mm
加熱區(qū)長(zhǎng)	400mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)	200mm
工作溫度	0～1000℃
升溫速度	推薦80℃/s，快升溫速度100℃/s
降溫速度	200℃以上≤25min
控溫精度	±1℃
控溫模式	8段
顯示模式	LCD觸摸屏
密封方式	304不銹鋼真空法蘭
法蘭接口	1/4英寸卡套接頭(?8寶塔嘴接頭)
可抽真空	4.4E-3Pa 分子泵
供電電源	AC:220V 50/60Hz

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